原理

如圖1所示，從光源S發(fā)出的光束射向背面鍍有半透膜的分束器BS，經(jīng)該處反射和透射分成兩路進行，一路被平面鏡M₁反射回來，另一路通過補償板CP后被平面鏡M₂反射，沿原路返回，兩光束在BS處會合發(fā)生干涉，觀察者從E處可見明暗相間的干涉圖樣。M₂′是M₂的虛象，圖示邁克爾遜干涉儀光路相當于M₁和M₂′之間的空氣平行平板的干涉光路。平行于BS的補償板與BS有相同的厚度和折射率，它使兩光束在玻璃中的路程相等，并且使不同波長的光具有相同的光程差，所以有利于白光的干涉。

圖1

3 主要技術參數(shù)和規(guī)格

分束器和補償板平面度：≤l

微動測量分度值：相當于0.0005 mm

移動鏡行程： 1.25 mm

氣壓表量程：0-40 kPa

鈉鎢雙燈功率；鈉燈10W；溴鎢燈15W，6V/3V

He-Ne激光器功率：0.7-1 mW

氣室長度：80 mm

波長測量準確度：當條紋計數(shù)100時，相對誤差＜2%

儀器外形尺寸(mm)：350×350×285